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凯时国际登录 DMF系列 智能型气体质量控制器

簡要描述:

凯时国际登录 DMF系列 智能型气体质量控制器
DMF系列數字質量流量控制器可對不同氣體的流量進行編程,記錄,分析和控制.控制器采用了直管傳感器和限流元件,這保證了層流氣體流量的精度與重複性。DMF系列不受溫度和壓力變化的影響。

控制器可以針對不同的控制器功能進行編程,包括設定流量值,累計,終止累計,從預定值累計,終止和預定總數,自動調零等等.自動調零特性采用了自動調零調整電路,這實際上消除了零

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凯时国际登录 DMF系列 智能型气体质量控制器

可編程,RS485接口,壓力達500psi, ±1%精度

 

凯时国际登录 DMF系列 智能型气体质量控制器

DMF系列數字質量流量控制器可對不同氣體的流量進行編程,記錄,分析和控制.控制器采用了直管傳感器和限流元件,這保證了層流氣體流量的精度與重複性。DMF系列不受溫度和壓力變化的影響。

 

控制器可以針對不同的控制器功能進行編程,包括設定流量值,累計,終止累計,從預定值累計,終止和預定總數,自動調零等等.自動調零特性采用了自動調零調整電路,這實際上消除了零漂和量程漂移,此外,DMF系列控制器带有两个干式触点对泵,阀门和其它设备进行控制。

DMF系列的特點是有一自整定功能,它可以使對一定壓力小的特定氣體的調節達到*,在開機時就進行自診斷測試,從而保證控制器工作在*工況下。控制器中儲存了多達10種的氣體校准信息和256種不同氣體的轉換因數,氣體流量高低速限制警報器經由RS-485接口進行編程.流量模式有相應軟件的支持,它允許執行多達十條指令的自定義程序。

 

規格

介質:與接液部件兼容的清潔氣體

接液材質: 316不锈钢,416不锈钢,Viton® O型密封圈

精度: 满量程时±1%包括线性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia(0.35-4bar);

满量程时±2% 32-122°F (0-50°C) 和5-150psia (0.3-10bar)

重複性: 满量程的±0.15%

反應時間: 在20%-100%满量程以上设定点的±2%以内是0.6-1.0秒

輸出: 线性0-5VDC(2000Ω小负载阻抗);0-10VDC(4000Ω小负载阻抗)

zui大微粒尺寸:100微米

工作溫度: 41-122°F (5-50°C)

電源: ±15VDC;zui大功率13.5瓦

過程連接: 流速≤50L/m压缩接头是1/4 英寸;100和200L/m是3/8英寸

壓力範圍: 500psig(34.5bar)

泄漏率: 氦气的1 x 10-7 sccs

計算機連接: RS-485

認證: CE

 

型號

 

流量範圍

型號

0-10 SCCM

DMF-41401

0-20 SCCM

DMF-41402

0-50 SCCM

DMF-41403

0-100 SCCM

DMF-41404

0-200 SCCM

DMF-41405

0-500 SCCM

DMF-41406

0-1 L/min

DMF-41407

0-2 L/min

DMF-41408

0-5 L/min

DMF-41409

0-15 L/min

DMF-41411

0-30 L/min

DMF-41431

0-50 L/min

DMF-41433

0-100 L/min

DMF-41842

流量量程是由当氮气在70°F (21°C)@760mmHg的条件下标定的

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